كربيد السيليكون الأخضر ميكرون لتلميع مادة PZT

ميكرون كربيد السيليكون الأخضر هو نوع من المواد الكاشطة غير المعدنية ذات الصلابة العالية والقوة الميكانيكية العالية. يمكن أن تصنع عملية طحن قوية. يتميز كربيد السيليكون الأخضر بمزايا كبيرة في طحن مواد PZT ( السيراميك الكهرضغطية ).

PZT هي مادة خزفية وظيفية تحول الطاقة الميكانيكية والطاقة الكهربائية إلى بعضها البعض. تستخدم على نطاق واسع في البصريات وأشباه الموصلات والأدوات وغيرها من المجالات. ومع ذلك ، فإن السيراميك هش ويصعب معالجته بالكهرباء الانضغاطية. في مرحلة لاحقة من معالجة السطح لسيراميك PTZ ، يتم استخدام آلة الصقل ذات الوجهين لطحن وتلميع بسكويت الويفر PZT. بشكل عام ، تتم المعالجة السطحية لـ PZT ، مثل التخشين المتدرج والطحن ، باستخدام كربيد السيليكون الأخضر 50 ميكرون ، و 40 ميكرون ، و 20 ميكرون ، و 14 ميكرون. بعد التخشين ، يكون سطح البسكويت موحدًا بدون خدوش ، ويمكن أن تصل الخشونة إلى 1.2-1.5um. في مرحلة التلميع الدقيق والطحن الناعم ، يتم اختيار مسحوق اكسيد الالمونيوم الأبيض 14 ميكرون و 7 ميكرون و 5 ميكرون للطحن الدقيق. خشونة المنتج بعد التلميع أقل من 50 نانومتر.

من أجل تحقيق تأثير الطحن للتلميع بدون خدش ، يجب التحكم بدقة في حجم الجسيمات من مادة جلخ كربيد السيليكون الأخضر. في هذه الحالة ، يجب أن يكون حجم الجسيم هو نفسه قدر الإمكان ويجب أن يكون نطاق حجم الجسيمات ضيقًا. إذا كانت هناك جزيئات كبيرة ، فمن السهل إتلاف سطح السيراميك. إذا كان هناك العديد من الجسيمات الدقيقة ، فسيؤدي ذلك إلى تقليل كفاءة الطحن. لذلك ، فإن مسحوق كربيد السيليكون الأخضر المصنف بواسطة فيضان غسل الماء هو المادة الكاشطة المناسبة.